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라디칼 모니터
μ-AP 타입 비평형 대기압 플라즈마 장치
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라디칼 모니터
최첨단의 플라스마 프로세스에는 표면 반응을 이해할 필요가 있습니다.라디칼 모니터는 프로세스로 사용할 수 있는 유일한 라디칼 계측 장치입니다.
라디칼 모니터
라디칼 모니터
유도 결합형 수소 플라스마내 H라디칼 계측 Hα의 OES 계측만으로는 라디칼 밀도를 측정할 수 없습니다.
Specification
  • 【Radical species】  H/N/O
  • 【Measuring method】  Atomic Absorption Spectrophotometry
  • 【Detection limit】   1010/cm³and above
  • 【Monitoring method】  Probe
  • 【Installing method】  ICF70 flange
Characteristics
  • 세계 최초의 프로세스로 사용할 수 있는 라디칼 계측 장치
  • 여러가지 장치에 달기 쉬운 One-Port형 .
  • H, N, O 라디칼의 절대 밀도 측정 가능
  • 초소형 절연 프로브
  • ICF70 플랜지 설치 가능
  • 비발광 영역에서의 계측 가능
Composition
  • 라디칼 모니터 헤드
  • 제어 전원
  • 진공 배기 시스템
  • 데이터 분석 장치
  • 헤드 설치 어뎁터 (옵션)
그 외 각종 라디칼 계측 및 라디칼 응용 장치에 대해서는 문의해 주세요. contact us.
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