NUsystem  
NUシステム株式会社
製品紹介
ラジカルモニター
μ-AP型大気圧非平衡プラズマ装置
F-RadiMo
小型VUV分光器
超高密度室温大気圧プラズマ装置
高密度ラジカル源装置
ナノ粒子製造・担持用超臨界装置
高精度スーパーコンティニューム光源
ナノカーボン堆積装置
CCP型プラズマエッチング装置
EBEP処理装置
基板温度モニター
会社概要
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小型VUV分光器
真空紫外光用の小型分光器です。従来の同レベルの波長分解能を持つ真空紫外分光器よりも体積比で1/3もコンパクトになりました。
VUV分光器
仕様
  • 【波長帯域】 115-200nm
  • 【理論波長分解能】 <0.4nm(スリット幅0.1mm)
  • 【検出器】 ソーラーブラインド光電子増倍管
  • 【回折格子】 4968line/mm
  • 【使用圧力】 <10E-3 Torr
  • 【サイズ(取り付けフランジ、突起部を除く】 
      250o(W), 230mm(D), 150mm(H)

 

制御ボックス
  • 波長走査用ドライバ
  • 光電子増倍管用高電圧電光源
  • 光電子増倍管用プリアンプ
     ⇒19インチラック対応の制御ボックスに
      収められています。
応用
  • RadiMo用検出器
  • 真空紫外吸収分光用分光器
  • 真空紫外発光分光用分光器
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