NUsystem  
NUシステム株式会社
製品紹介
ラジカルモニター
μ-AP型大気圧非平衡プラズマ装置
F-RadiMo
小型VUV分光器
超高密度室温大気圧プラズマ装置
高密度ラジカル源装置
ナノ粒子製造・担持用超臨界装置
高精度スーパーコンティニューム光源
ナノカーボン堆積装置
CCP型プラズマエッチング装置
EBEP処理装置
基板温度モニター
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大気圧プラズマ評価装置
真空紫外光用の小型分光器です。従来の同レベルの波長分解能を持つ真空紫外分光器よりも体積比で1/3もコンパクトになりました。
ラジカルモニター

 

 

 

 

 

 

 

ラジカルモニター
PMS-N-001

大気圧プラズマから発生する波長376nm~381nmにあるN2の発光よりN2回転温度を自動で計測します。
 

特徴
  • リアルタイム計測
     1秒毎の発光スペクトルを独自の手法によりフィッティング処理をして温度を自動計算させリアルタイム表示します。

  • 発光モニター
     あらかじめ設定した波長データを自動保存します。各種温度データとの相関および比較などに利用できます。(保存形式:CSV)
     
PMS-OH-001

大気圧プラズマから発生する波長305nm~310nmにあるOHの発光よりOH回転温度を自動で計測します。

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